房间内污染物的比率和实际微粒产生情况，是影响洁净室空气换气次数的主要因素。在生产过程中，不对其他因素产生任何影响的情况下，光电显示净化工程设计施工，清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影响再循环空气数量的因素是：房间的结构、设备的位置、设备表面温度、空气对流、气流类型（单向通过敏感区或者通过全空间）、操作空间和规章、使用的材料和化学药品等。
洁净车间可能需要在静态下进行鉴定，在工况下进行鉴定，集成电路净化工程设计施工，对生产过程进行确认或者cGMP认证。由综合服务管理部制定的联邦标准209（e），建议100或90fpm。然而有可能建立一个空气流动速度较低，但比100级洁净度更高的洁净室。实际上，已经有洁净室的空气流动速度是45cfm/平方英尺。
洁净室内的架空地板是用来掩盖工具、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。后来，为了节约成本，半导体净化工程设计施工，在“bay-and-chase”式的洁净室结构中，这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。在完全单向气流的洁净室内，人们希望微粒从工作区域流到带小孔的地板下。我们已经成功的建立了10级和100级的洁净室，在这些洁净室内没有架空地板，净化工程设计施工，采用墙下部回风系统，而且洁净室的气流被设计成紊流。另个一种办法是用薄的空气喷射装置隔离超清洁区域，这种空气喷射的速度是每分钟500到800英尺。它的功能类似于塑料门帘。
洁净厂房竣工验收时，应认真检查竣工验收的资料，一般包括下列文件及记录：
（1）图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图；
（2）各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告；
（3）各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录；
（4）各分部单机试运转记录；
（5）各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录；
（6）各类管线试验、检查记录；
（7）各分部工程的安全设施的检验和调试记录；
（8）各分部工程的质量验收记录。
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